國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，江蘇魯汶儀器股份有限公司、北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備及其控制方法”的專利，公開(kāi)號(hào)CN121331731A，申請(qǐng)日期為2024年7月。
專利摘要顯示，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備及其控制方法，半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備包括柵網(wǎng)和至少一個(gè)電磁線圈；柵網(wǎng)包括多個(gè)網(wǎng)孔，離子束可以通過(guò)柵網(wǎng)的網(wǎng)孔進(jìn)行引出。電磁線圈圍繞至少一個(gè)網(wǎng)孔或多個(gè)網(wǎng)孔環(huán)繞電磁線圈，至少一個(gè)電磁線圈用于提供目標(biāo)形狀和目標(biāo)強(qiáng)度的磁場(chǎng)，以利用目標(biāo)形狀和目標(biāo)強(qiáng)度的磁場(chǎng)控制通過(guò)多個(gè)網(wǎng)孔的離子束的空間分布，也就是說(shuō)，通過(guò)在網(wǎng)孔周圍預(yù)先設(shè)置至少一個(gè)電磁線圈，通過(guò)設(shè)置至少一個(gè)電磁線圈的位置以及電流大小確定目標(biāo)形狀和目標(biāo)強(qiáng)度的磁場(chǎng)，目標(biāo)形狀和目標(biāo)強(qiáng)度的磁場(chǎng)就能夠?qū)νㄟ^(guò)網(wǎng)孔的離子束進(jìn)行空間分布的調(diào)控，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)離子束的空間分布進(jìn)行多種場(chǎng)景的調(diào)控。
天眼查資料顯示，江蘇魯汶儀器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以從事專用設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊(cè)資本19584.6238萬(wàn)人民幣。通過(guò)天眼查大數(shù)據(jù)分析，江蘇魯汶儀器股份有限公司共對(duì)外投資了3家企業(yè)，參與招投標(biāo)項(xiàng)目257次，財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息32條，專利信息469條，此外企業(yè)還擁有行政許可14個(gè)。
北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以從事軟件和信息技術(shù)服務(wù)業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊(cè)資本20000萬(wàn)人民幣。通過(guò)天眼查大數(shù)據(jù)分析，北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司共對(duì)外投資了1家企業(yè)，參與招投標(biāo)項(xiàng)目22次，財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息6條，專利信息513條，此外企業(yè)還擁有行政許可125個(gè)。
聲明：市場(chǎng)有風(fēng)險(xiǎn)，投資需謹(jǐn)慎。本文為AI基于第三方數(shù)據(jù)生成，僅供參考，不構(gòu)成個(gè)人投資建議。