國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示,費(fèi)勉儀器科技(南京)有限公司、合肥費(fèi)勉儀器科技有限公司取得一項(xiàng)名為“電子束蒸發(fā)源的冷卻裝置以及真空處理系統(tǒng)”的專利,授權(quán)公告號(hào)CN223633445U,申請(qǐng)日期為2024年12月。專利摘要顯示,本公開(kāi)涉及真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,公開(kāi)了一種電子束蒸發(fā)源的冷卻裝置以及真空處理系統(tǒng)。電子束蒸發(fā)源的冷卻裝置包括冷卻腔體、進(jìn)液管和出液管。冷卻腔體用于冷卻液流通,并設(shè)置在一個(gè)或多個(gè)電子束蒸發(fā)源上方,與電子束蒸發(fā)源熱耦合,用于冷卻電子束蒸發(fā)源。進(jìn)液管與冷卻腔體連通,用于向冷卻腔體內(nèi)通入冷卻液。出液管與冷卻腔體連通,用于從冷卻腔體內(nèi)排出冷卻液。天眼查資料顯示,費(fèi)勉儀器科技(南京)有限公司,成立于2017年,位于南京市,是一家以從事儀器儀表制造業(yè)為主的企業(yè)。企業(yè)注冊(cè)資本1500萬(wàn)人民幣。通過(guò)